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SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件

General specification for gas mass flow controller
基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 10583-1994
  • 名称：
    气体质量流量控制器通用技术条件
  • 英文名称：
    General specification for gas mass flow controller
  • 状态：
    被代替
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1994-08-08
  • 实施日期：
    1994-12-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    修订公告【2016年第7号(总第199号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    暂无
  • CCS分类：
    【 电子元器件与信息技术（L） 电子工业生产设备（L95/99） 检验专用设备（L98） 】
  • 行标分类：
    【 电子（SJ） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器（以下简称控制器）。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
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暂无
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暂无
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