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SJ/T 10535-1994 半导体器件用钨舟

Tungsten boat for semiconductor devices
基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 10535-1994
  • 名称：
    半导体器件用钨舟
  • 英文名称：
    Tungsten boat for semiconductor devices
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1994-08-08
  • 实施日期：
    1994-12-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
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分类信息
  • ICS分类：
    暂无
  • CCS分类：
    【 综合（A） 标准化管理与一般规定（A00/09） 技术管理（A01） 】
  • 行标分类：
    【 电子（SJ） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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