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GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

Gas for electronic industry--Silane
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 15909-1995
  • 名称：
    电子工业用气体 硅烷(SiH4)
  • 英文名称：
    Gas for electronic industry--Silane
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1995-12-20
  • 实施日期：
    1996-08-01
  • 废止日期：
    2010-05-01
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3051 GB/T 5274 GB/T 5832.1 GB 7144
  • 采用标准：
    SEMI C3.54:1993 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    化工部西南化工研究院
相关人员
暂无
关联标准