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GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry--Silane
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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归口单位：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
起草单位：
化工部西南化工研究院
相关人员
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