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GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则
Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
电子电信设备用机电元件（31.220）
插头和插座装置、连接器（31.220.10）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
加工专用设备（L97）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
-
引用标准：
GB/T 13840
-
采用标准：
SEMI E6:1992 （非等效采用 NEQ）
相关部门
-
主管部门：
工业和信息化部（电子）
-
归口单位：
信息产业部（电子）
-
起草单位：
中国华晶电子集团公司
相关人员
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