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GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 15872-1995
  • 名称：
    半导体设备电源接口
  • 英文名称：
    Power supply interface for semiconductor equipment
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1995-12-22
  • 实施日期：
    1996-08-01
  • 废止日期：
    2014-05-15
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《铅锭》等320项国家标准和33项国家标准样品的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 1002 GB 1003 GB 5013.2 GB 11919
  • 采用标准：
    SEMI E7:1992 （非等效采用 NEQ）
相关部门
  • 主管部门：
    工业和信息化部（电子）
  • 归口单位：
    全国电子测量仪器标准化技术委员会
  • 起草单位：
    中国华晶电子集团公司
相关人员
暂无
关联标准