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GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 15862-1995
  • 名称:
    离子注入机通用技术条件
  • 英文名称:
    Generic specification for ion implantation equipment
  • 状态:
    废止
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1995-12-22
  • 实施日期:
    1996-08-01
  • 废止日期:
    2013-02-15
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB 191 GBn 193 GB 5080.7 GB 6388 SJ 142 SJ 1276 SJ 2573
相关部门
  • 主管部门:
    工业和信息化部(电子)
  • 归口单位:
    信息产业部(电子)
  • 起草单位:
    电子工业部第四十八研究所
相关人员
暂无
关联标准