收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
Generic specification for ion implantation equipment
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
加工专用设备（L97）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
主管部门：
工业和信息化部（电子）
-
归口单位：
信息产业部（电子）
-
起草单位：
电子工业部第四十八研究所
相关人员
关联标准
-
GB/T 38446-2020
微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
-
SJ/T 31286-1994
3TDC－1－128F型电容器薄膜复合机完好要求和检查评定方法
-
GB/T 14026-1992
半导体集成电路微型计算机电路系列和品种 80C86系列的品种
-
SJ/T 31288-1994
电容器喷粉机完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31089-1994
KH4682－5切筋冲床完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31274-1994
自动被银机完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31119-1994
掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31143-1994
高频焊接台完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31075-1994
ED－401型装片机完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31090-1994
6－CTVH－B切割机完好要求和检查评定方法
-
GB/T 33929-2017
MEMS高g值加速度传感器性能试验方法
-
SJ/T 31073-1994
印记打印机完好要求和检查评定方法
-
GB/T 15138-1994
膜集成电路和混合集成电路外形尺寸
-
GB/T 14028-1992
半导体集成电路模拟开关测试方法的基本原理
-
GB/T 14862-1993
半导体集成电路封装结到外壳热阻测试方法
-
SJ/T 31209-1994
芯柱切断整形机完好要求和检查评定方法
-
SJ/T 31256-1994
NOVA型电容器自动卷绕机完好要求和检查评定方法
-
GB/T 17574.9-2006
半导体器件 集成电路 第2-9部分：数字集成电路 紫外光擦除电可编程MOS只读存储器空白详细规范
-
GB/T 16523-1996
圆形石英玻璃光掩模基板规范
-
SJ/T 31223-1994
连续式氢气炉完好要求和检查评定方法
打开设置，点击
执行注册
