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GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
Generic specification for ion implantation equipment基本信息
- 标准号:GB/T 15862-1995
- 名称:离子注入机通用技术条件
- 英文名称:Generic specification for ion implantation equipment
- 状态:废止
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1995-12-22
- 实施日期:1996-08-01
- 废止日期:2013-02-15
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:暂无
- 引用标准:暂无
相关标准
- 引用标准:GB 191 GBn 193 GB 5080.7 GB 6388 SJ 142 SJ 1276 SJ 2573
相关部门
- 主管部门:工业和信息化部(电子)
- 归口单位:信息产业部(电子)
- 起草单位:电子工业部第四十八研究所
相关人员
暂无
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