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GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件

Generic specification of ion beam etching system
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 15861-1995
  • 名称：
    离子束蚀刻机通用技术条件
  • 英文名称：
    Generic specification of ion beam etching system
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1995-12-22
  • 实施日期：
    1996-08-01
  • 废止日期：
    2013-02-15
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《信息技术射频识别2.45GHz空中接口协议》等2项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 191 GB 5080.7 SJ 142 SJ 1224 SJ/T 10152
相关部门
  • 主管部门：
    工业和信息化部（电子）
  • 归口单位：
    信息产业部（电子）
  • 起草单位：
    电子部长沙半导体工艺设备所
相关人员
暂无
关联标准