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GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
Generic specification of ion beam etching system
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
加工专用设备（L97）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
工业和信息化部（电子）
-
归口单位：
信息产业部（电子）
-
起草单位：
电子部长沙半导体工艺设备所
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