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GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
Generic specification of ion beam etching system
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
电子学(31)
集成电路、微电子学(31.200)
】
-
CCS分类:
【
电子元器件与信息技术(L)
电子工业生产设备(L95/99)
加工专用设备(L97)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
主管部门:
工业和信息化部(电子)
-
归口单位:
信息产业部(电子)
-
起草单位:
电子部长沙半导体工艺设备所
相关人员
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