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SJ/T 31273-1994 EVP－13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
暂无
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
加工专用设备（L97）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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相关部门
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提出部门：
电子工业部经济运行与体制改革司
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起草单位：
上海市仪表电讯工业局
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