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GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinatesystem
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 16596-1996
  • 名称：
    确定晶片坐标系规范
  • 英文名称：
    Specification for establishing a wafer coordinatesystem
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1996-11-04
  • 实施日期：
    1997-04-01
  • 废止日期：
    2020-02-01
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《石油产品术语》国家标准和国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 12964-1996 G/BT 16595-1996
  • 采用标准：
    SEMI M20:1992 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    中国有色金属工业总公司
相关人员
暂无
关联标准