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GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法
Micron grade length measurement by SEM
基本信息
分类信息
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ICS分类：
【
计量学和测量、物理现象（17）
长度和角度测量（17.040）
长度和角度测量综合（17.040.01）
】
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CCS分类：
【
仪器、仪表（N）
光学仪器（N30/39）
电子光学与其他物理光学仪器（N33）
】、
【
仪器、仪表（N）
试验机与无损探伤仪器（N70/79）
机械振动、冲击设备与动平衡机（N73）
】、
【
仪器、仪表（N）
其他仪器仪表（N90/99）
水文与水利仪器（N93）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会
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起草单位：
上海市测试技术研究所
相关人员
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