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GB/T 12963-1996 硅多晶

Polycrystalline silicon
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 12963-1996
  • 名称:
    硅多晶
  • 英文名称:
    Polycrystalline silicon
  • 状态:
    废止
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1996-11-04
  • 实施日期:
    1997-04-01
  • 废止日期:
    2010-06-01
  • 相关公告:
    暂无
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分类信息
  • ICS分类:
    电气工程(29) 半导体材料(29.045)
  • CCS分类:
    冶金(H) 半金属与半导体材料(H80/84) 元素半导体材料(H82)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 代替标准:
    GB 12963-1991
  • 引用标准:
    GB/T 1550 GB/T 1553 GB/T 1554-1995 GB 1558-83 GB 4059-83 GB 4060-83 GB 4061-83
  • 采用标准:
    SEMI M16:1989 (等效采用 EQV)
相关部门
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位:
    峨嵋半导体材料厂
相关人员
暂无
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