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GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

Specification for round quartz photomask substrates
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 16523-1996
  • 名称：
    圆形石英玻璃光掩模基板规范
  • 英文名称：
    Specification for round quartz photomask substrates
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1996-09-09
  • 实施日期：
    1997-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 191-90 GB 2828-87 GB 2829-87 GB 7238-87 GB 9622.2-88
  • 采用标准：
    SEMI P4:1992 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    长沙韶光微电子总公司
相关人员
暂无
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