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GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
Specification for round quartz photomask substrates基本信息
- 标准号:GB/T 16523-1996
- 名称:圆形石英玻璃光掩模基板规范
- 英文名称:Specification for round quartz photomask substrates
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1996-09-09
- 实施日期:1997-05-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:暂无
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:暂无
- 引用标准:暂无
相关标准
- 引用标准:GB 191-90 GB 2828-87 GB 2829-87 GB 7238-87 GB 9622.2-88
- 采用标准:SEMI P4:1992 (等效采用 EQV)
相关部门
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
- 起草单位:长沙韶光微电子总公司
相关人员
暂无
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