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SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

Basic parameter series of evaporation plating equipment
基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11131-1997
  • 名称：
    蒸发镀膜设备基本参数系列
  • 英文名称：
    Basic parameter series of evaporation plating equipment
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1997-09-02
  • 实施日期：
    1998-01-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
    本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
  • 引用标准：
    暂无
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暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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