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SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

Basic parameter series of evaporation plating equipment
基本信息
  • 标准号:
    SJ/T 11131-1997
  • 名称:
    蒸发镀膜设备基本参数系列
  • 英文名称:
    Basic parameter series of evaporation plating equipment
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1997-09-02
  • 实施日期:
    1998-01-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    暂无
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分类信息
  • ICS分类:
    电子学(31) 电子元器件综合(31.020)
  • CCS分类:
    医药、卫生、劳动保护(C) 医药、卫生、劳动保护综合(C00/09) 技术管理(C01)
  • 行标分类:
    电子(SJ)
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
    本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
  • 引用标准:
    暂无
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暂无
相关部门
暂无
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暂无
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