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GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 16878-1997
  • 名称:
    用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
  • 英文名称:
    Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1997-06-20
  • 实施日期:
    1998-03-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    暂无
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分类信息
  • ICS分类:
    电子学(31) 集成电路、微电子学(31.200)
  • CCS分类:
    电子元器件与信息技术(L) 电子工业生产设备(L95/99) 加工专用设备(L97)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    SJ/T 10152-91 SJ/T 10584-94
  • 采用标准:
    SEMI P19:1992 (等同采用 IDT)
相关部门
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位:
    中国科学院缩微电子中心
相关人员
暂无
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