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GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子工业生产设备（L95/99）
加工专用设备（L97）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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归口单位：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
起草单位：
中国科学院缩微电子中心
相关人员
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