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SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范

General specification for resist-coating stage with purified room
基本信息
  • 标准号：
    SJ/T 11181-1998
  • 名称：
    净化涂胶台通用规范
  • 英文名称：
    General specification for resist-coating stage with purified room
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1998-03-11
  • 实施日期：
    1998-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
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