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SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范
General specification for resist-coating stage with purified room
基本信息
分类信息
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ICS分类：
【
电子学（31）
电子元器件综合（31.020）
】
-
CCS分类：
【
医药、卫生、劳动保护（C）
医药、卫生、劳动保护综合（C00/09）
技术管理（C01）
】
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行标分类：
描述信息
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