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GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮
Gases for electronic industry--Nitrogen
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
主管部门:
国家标准化管理委员会
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归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
-
起草单位:
化学工业部西南化工研究院
相关人员
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