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GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

Gases for electronic industry--Hydrogen
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 16942-1997
  • 名称：
    电子工业用气体 氢
  • 英文名称：
    Gases for electronic industry--Hydrogen
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1997-08-13
  • 实施日期：
    1998-05-01
  • 废止日期：
    2010-05-01
  • 相关公告：
    修订公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 3634-1995 GB/T 5832.1-86 GB/T 5832.2-86 GB/T 6285-86 GB/T 6681-86 GB/T 8984.1-1997 GB/T 8984.3-1997
  • 采用标准：
    SEMI C3.19:1993 （等效采用 EQV）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    化学工业部西南化工研究院
相关人员
暂无
关联标准