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GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

Gases for electronic industry--Hydrogen
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 16942-1997
  • 名称:
    电子工业用气体 氢
  • 英文名称:
    Gases for electronic industry--Hydrogen
  • 状态:
    废止
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    1997-08-13
  • 实施日期:
    1998-05-01
  • 废止日期:
    2010-05-01
  • 相关公告:
    修订公告【】
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分类信息
  • ICS分类:
    化工技术(71) 化工产品(71.100) 工业气体(71.100.20)
  • CCS分类:
    化工(G) 其他化工产品(G85/89) 工业气体与化学气体(G86)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    暂无
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 3634-1995 GB/T 5832.1-86 GB/T 5832.2-86 GB/T 6285-86 GB/T 6681-86 GB/T 8984.1-1997 GB/T 8984.3-1997
  • 采用标准:
    SEMI C3.19:1993 (等效采用 EQV)
相关部门
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位:
    化学工业部西南化工研究院
相关人员
暂无
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