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GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电气工程（29）
半导体材料（29.045）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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起草单位：
峨嵋半导体材料研究所
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归口单位：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
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