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GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电气工程（29）
半导体材料（29.045）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金相检验方法（H24）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位：
南开大学
天津市半导体材料厂
-
主管部门：
国家标准化管理委员会
-
归口单位：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
相关人员
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