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GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 17169-1997
  • 名称：
    硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
  • 英文名称：
    Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    1997-12-22
  • 实施日期：
    1998-08-01
  • 废止日期：
    2004-10-14
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 6624-1995 GB/T 14142-93 GB/T 14262-93
相关部门
  • 起草单位：
    南开大学 天津市半导体材料厂
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准