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GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
Test method for particles in electronic grade water by instrument基本信息
- 标准号:GB/T 11446.9-1997
- 名称:电子级水中微粒的仪器测试方法
- 英文名称:Test method for particles in electronic grade water by instrument
- 状态:废止
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:1997-09-01
- 实施日期:1998-09-01
- 废止日期:2014-08-15
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:暂无
- 引用标准:暂无
相关标准
- 代替标准:GB 11446.9-1989
- 引用标准:GB/T 11446.1-1997 GB/T 11446.3-1997
- 采用标准:ASTM D5127:1990 (非等效采用 NEQ)
相关部门
- 起草单位:中国科学院半导体研究所
- 主管部门:工业和信息化部(电子)
- 归口单位:信息产业部(电子)
相关人员
暂无
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