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GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
Test method for particles in electronic grade water by instrument
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
电子学(31)
电子技术专用材料(31.030)
】
-
CCS分类:
【
电子元器件与信息技术(L)
电子设备与专用材料、零件、结构件(L90/94)
电子技术专用材料(L90)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位:
中国科学院半导体研究所
-
主管部门:
工业和信息化部(电子)
-
归口单位:
信息产业部(电子)
相关人员
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