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GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
Test method for particles in electronic grade water by instrument
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
电子技术专用材料（31.030）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子设备与专用材料、零件、结构件（L90/94）
电子技术专用材料（L90）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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起草单位：
中国科学院半导体研究所
-
主管部门：
工业和信息化部（电子）
-
归口单位：
信息产业部（电子）
相关人员
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