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GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
流体系统和通用件(23)
真空技术(23.160)
】
-
CCS分类:
【
机械(J)
通用机械与设备(J70/89)
真空技术与设备(J78)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
主管部门:
中国机械工业联合会
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归口单位:
全国真空技术标准化技术委员会
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起草单位:
上海通用机械研究所
相关人员
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