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GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
流体系统和通用件（23）
真空技术（23.160）
】
-
CCS分类：
【
机械（J）
通用机械与设备（J70/89）
真空技术与设备（J78）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
中国机械工业联合会
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归口单位：
全国真空技术标准化技术委员会
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起草单位：
上海通用机械研究所
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