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GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范
Specification for measuring depth of focus and best focus
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
微电路（L55/59）
半导体集成电路（L56）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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起草单位：
中国科学院微电子中心
-
归口单位：
SEMI中国标准化技术委员会
相关人员
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