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GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范
Specification for measuring depth of focus and best focus
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
电子学(31)
集成电路、微电子学(31.200)
】
-
CCS分类:
【
电子元器件与信息技术(L)
微电路(L55/59)
半导体集成电路(L56)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门:
国家标准化管理委员会
-
起草单位:
中国科学院微电子中心
-
归口单位:
SEMI中国标准化技术委员会
相关人员
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