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GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride基本信息
- 标准号:GB/T 18867-2002
- 名称:电子工业用气体 六氟化硫
- 英文名称:Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
- 状态:废止
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2002-10-15
- 实施日期:2003-04-01
- 废止日期:2015-07-01
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:暂无
- 引用标准:暂无
相关标准
- 引用标准:GB 190 GB 5099 GB/T 5832.1 GB/T 5832.2 GB 7144 GB/T 8984.1 GB/T 11640 GB 12022-1989
- 采用标准:SEMI C3.24:1995 (非等效采用 NEQ)
相关部门
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
- 起草单位:中核红华特种气体股份有限公司
相关人员
暂无
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