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GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

Gases for electronic industry--High purity chlorine
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 18994-2003
  • 名称：
    电子工业用气体 高纯氯
  • 英文名称：
    Gases for electronic industry--High purity chlorine
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2003-03-05
  • 实施日期：
    2003-08-01
  • 废止日期：
    2015-07-01
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《乘用车燃料消耗量限值》等106项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB 5099 GB/T 5274 GB/T 5832.1 GB 7144 GB/T 7445 GB/T 8980
  • 采用标准：
    SEMI C3.32:1995 （非等效采用 NEQ）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    光明化工研究设计院
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准