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GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 12964-1996
  • 引用标准：
    GB/T 1550-1997 GB/T 1552-1995 GB/T 1554-1995 GB/T 1555-1997 GB 1558-1983 GB/T 2828-1987 GB/T 4058-1995 GB/T 6616-1995 GB/T 6618-1995 GB/T 6619-1995 GB/T 6620-1995 GB/T 6621-1995 GB/T 6624-1995 GB/T 11073-1989 GB/T 12962-1996 GB/T 13387-1992 GB/T 13388-1992 GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993 GB/T 14143-1993 GB/T 14264-1993 GB/T 14844-1993 YS/T 26-1992
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    洛阳单晶硅厂
相关人员
暂无
关联标准