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GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 12964-2003
  • 名称：
    硅单晶抛光片
  • 英文名称：
    Monocrystalline silicon polished wafers
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2003-06-16
  • 实施日期：
    2004-01-01
  • 废止日期：
    2019-06-02
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《中小学校普通教室照明设计安装卫生要求》等454项国家标准和6项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 元素半导体材料（H82） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 12964-1996
  • 引用标准：
    GB/T 1550-1997 GB/T 1552-1995 GB/T 1554-1995 GB/T 1555-1997 GB 1558-1983 GB/T 2828-1987 GB/T 4058-1995 GB/T 6616-1995 GB/T 6618-1995 GB/T 6619-1995 GB/T 6620-1995 GB/T 6621-1995 GB/T 6624-1995 GB/T 11073-1989 GB/T 12962-1996 GB/T 13387-1992 GB/T 13388-1992 GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993 GB/T 14143-1993 GB/T 14264-1993 GB/T 14844-1993 YS/T 26-1992
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 起草单位：
    洛阳单晶硅厂
相关人员
暂无
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