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JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method
基本信息
  • 标准号：
    JB/T 10439-2004
  • 名称：
    单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
  • 英文名称：
    Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2004-03-12
  • 实施日期：
    2004-08-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。
    本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    西安理工大学晶体生长设备研究所
相关人员
暂无
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