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GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method of particles on silicon wafer surfaces
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 19921-2005
  • 名称：
    硅抛光片表面颗粒测试方法
  • 英文名称：
    Test method of particles on silicon wafer surfaces
  • 状态：
    废止
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2005-09-19
  • 实施日期：
    2006-04-01
  • 废止日期：
    2019-07-02
  • 相关公告：
    修订公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    ASTM F1620-96 ASTM F 1621-96 SEMI M1-0302
相关部门
  • 提出部门：
    中国有色金属工业协会
  • 主管部门：
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位：
    北京有色金属研究总院
  • 归口单位：
    全国有色金属标准化技术委员会
相关人员
暂无
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