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GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
Test method of particles on silicon wafer surfaces
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
金属材料试验综合（77.040.01）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属化学分析方法（H10/19）
半金属及半导体材料分析方法（H17）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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提出部门：
中国有色金属工业协会
-
主管部门：
中国有色金属工业协会
-
起草单位：
北京有色金属研究总院
-
归口单位：
全国有色金属标准化技术委员会
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