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JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计

Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
基本信息
  • 标准号：
    JB/T 10553-2006
  • 名称：
    真空技术 扩散硅压阻真空计
  • 英文名称：
    Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2006-05-06
  • 实施日期：
    2006-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    暂无
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    沈阳真空技术研究所
相关人员
暂无
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