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GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
-
CCS分类：
【
仪器、仪表（N）
光学仪器（N30/39）
电子光学与其他物理光学仪器（N33）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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主管部门：
国家标准化管理委员会
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提出部门：
全国微束分析标准化技术委员会
-
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会
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起草单位：
清华大学电子工程系
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