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GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 20175-2006
  • 名称：
    表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2006-03-27
  • 实施日期：
    2006-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。
    特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 采用标准：
    ISO 14606:2000 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 提出部门：
    全国微束分析标准化技术委员会
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会
  • 起草单位：
    清华大学电子工程系
相关人员
暂无
关联标准