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GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

General rules for nanometer-scale length measurement by SEM
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 20307-2006
  • 名称：
    纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
  • 英文名称：
    General rules for nanometer-scale length measurement by SEM
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2006-07-19
  • 实施日期：
    2007-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 计量学和测量、物理现象（17） 长度和角度测量（17.040） 】、
    【 成像技术（37） 光学设备（37.020） 】
  • CCS分类：
    【 仪器、仪表（N） 光学仪器（N30/39） 电子光学与其他物理光学仪器（N33） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10　nm～500　nm的点或线的间距。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    JJF 1059-1999 BIPM IEC IFCC ISO IUPAC IUPAP OIML-1993《Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement》(测量不确定度表示指南)
相关部门
  • 起草单位：
    同济大学 上海理工大学 中国地质科学院矿产资源研究所 中国科学院地质与地球物理研究所 中国科学院化学所
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 提出部门：
    全国微束分析标准化技术委员会
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会
相关人员
暂无
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