收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化镓单晶及切割片
Liquid encapsulated czochralski - grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices基本信息
- 标准号:GB/T 11093-2007
- 名称:液封直拉法砷化镓单晶及切割片
- 英文名称:Liquid encapsulated czochralski - grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2007-09-11
- 实施日期:2008-02-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:本标准是对GB/T11093-1989《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》的修订。
本标准与GB/T11093-1989相比,主要有如下变动:
---单晶和切割片的牌号按照GB/T14844《半导体材料牌号表示方法》进行了修订;
---增加了76.2mm(3in)、100mm、125mm 和150mm 规格的产品;
---增加了掺入碳等杂质元素的产品;
---去掉了40mm 规格的产品;
---取消了按位错密度对产品进行分级。
本标准自实施之日起,代替GB/T11093-1989。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
本标准起草单位:北京有色金属研究总院。
本标准主要起草人:张峰翊、郑安生。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T11093-1989。 - 适用范围:本标准规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的要求、试验方法、检验规则和标志、包装运输贮存等。
本标准适用于液封直拉法制备的砷化镓单晶及其切割片。产品供制作微波器件、集成电路、光电器件、传感元件和红外线窗口等元器件用材料。 - 引用标准:下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T4326 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
GB/T8760 砷化镓单晶位错密度测量方法
GB/T13387 电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T14264 半导体材料术语
GB/T14844 半导体材料牌号表示方法
GJB1927 砷化镓单晶材料测试方法
相关标准
- 代替标准:GB/T 11093-1989
- 引用标准:GB/T 1555 GB/T 2828.1 GB/T 4326 GB/T 8760 GB/T 13387 GB/T 14264 GB/T 14844 GJB 1927
相关部门
- 主管部门:中国有色金属工业协会
- 起草单位:北京有色金属研究总院
- 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
相关人员
暂无
关联标准
- GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
- GB/T 20230-2006 磷化铟单晶
- YS/T 679-2008 非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法
- GB/T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
- SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法
- GB/T 12962-2015 硅单晶
- GB/T 25076-2010 太阳电池用硅单晶
- GB/T 14139-2019 硅外延片
- GB/T 11071-2006 区熔锗锭
- GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
- YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范
- SJ/T 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法
- YS/T 28-1992 硅片包装
- GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
- GB/T 25076-2018 太阳能电池用硅单晶
- YS/T 43-1992 高纯砷
- GB/T 5238-2019 锗单晶和锗单晶片
- GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
- GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片
- GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法