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GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化镓单晶及切割片
Liquid encapsulated czochralski - grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电气工程（29）
半导体材料（29.045）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
半金属与半导体材料（H80/84）
化合物半导体材料（H83）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准是对GB/T11093-1989《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》的修订。
本标准与GB/T11093-1989相比,主要有如下变动:
---单晶和切割片的牌号按照GB/T14844《半导体材料牌号表示方法》进行了修订;
---增加了76.2mm(3in)、100mm、125mm 和150mm 规格的产品;
---增加了掺入碳等杂质元素的产品;
---去掉了40mm 规格的产品;
---取消了按位错密度对产品进行分级。
本标准自实施之日起,代替GB/T11093-1989。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
本标准起草单位:北京有色金属研究总院。
本标准主要起草人:张峰翊、郑安生。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T11093-1989。
-
适用范围：
本标准规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的要求、试验方法、检验规则和标志、包装运输贮存等。
本标准适用于液封直拉法制备的砷化镓单晶及其切割片。产品供制作微波器件、集成电路、光电器件、传感元件和红外线窗口等元器件用材料。
-
引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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