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GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
基本信息
分类信息
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ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
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行标分类：
暂无
描述信息
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前言：
本标准根据SEMI(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮》(SEMIC3.39-0304)2004年版标准,并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定。
本标准的附录C 为规范性附录,附录A、附录B、附录D 为资料性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)提出并归口。
本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。
本标准参加起草单位有:核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。
本标准主要起草人:余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠。
本标准为首次发布。
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适用范围：
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。
分子式：NF3。
分子量：71.0019(按2001年国际相对原子量)
-
引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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