收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准是对GB/T17473-1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》(所有部分)的整合修订,分为7个部分:
---GB/T17473.1-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定;
---GB/T17473.2-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定;
---GB/T17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定;
---GB/T17473.4-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 附着力测试;
---GB/T17473.5-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 粘度测定;
---GB/T17473.6-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定;
---GB/T17473.7-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 可焊性、耐焊性测定。
本部分为GB/T17473-2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473.3-1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》。
本部分与GB/T17473.3-1998相比,主要有如下变动:
---将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定;
---增加低温固化型浆料方阻的测定方法;
---原标准的原理中,将浆料用丝网印刷在陶瓷基片,经过烧结后,膜层在一定温度及其厚度、宽度不变的情况下……修改为:将浆料用丝网印刷在陶瓷基片或有机树脂基片上,经过烧结或固化后,膜层在一定温度及厚度、宽度不变的情况下;
---测厚仪修改为:光切显微测厚仪用于烧结型浆料:范围为0mm~5 mm,精度为0.001 mm。
千分尺用于固化型浆料:范围为0mm~5mm,精度为0.001mm。
本部分的附录A 为规范性附录。
本部分由中国有色金属工业协会提出。
本部分由全国有色金属标准化技术委员会归口。
本部分由贵研铂业股份有限公司负责起草。
本部分主要起草人:金勿毁、刘继松、李文琳、陈伏生、朱武勋、李晋。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T17473.3-1998。
-
适用范围：
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。
本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。
-
引用标准：
下列文件中的条款通过本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。
GB/T8170 数值修约规则
相关标准
-
代替标准：
GB/T 17473.3-1998
-
引用标准：
GB/T 8170
相关部门
-
提出部门：
中国有色金属工业协会
-
主管部门：
中国有色金属工业协会
-
起草单位：
贵研铂业股份有限公司
-
归口单位：
全国有色金属标准化技术委员会
相关人员
关联标准
-
YS/T 1467.10-2021
铪化学分析方法 第10部分：氧量、氮量的测定
-
GB/T 15072.5-2008
贵金属合金化学分析方法 金、钯合金中银量的测定 碘化钾电位滴定法
-
GB/T 11064.15-2013
碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第15部分：氟量的测定 离子选择电极法
-
YS/T 608-2006
电位器用钌电阻浆料
-
GB/T 4324.6-2012
钨化学分析方法 第6部分：铁量的测定 邻二氮杂菲分光光度法
-
GB/T 23367.2-2009
钴酸锂化学分析方法 第2部分：锂、镍、锰、镁、铝、铁、钠、钙和铜量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
XB/T 517-2021
稀土火法冶炼回收料
-
GB/T 12690.10-2003
稀土金属及其氧化物中非稀土杂质化学分析方法 磷量的测定 钼蓝分光光度法
-
GB 1777-1988
超细钯粉
-
YS/T 1069-2015
金铍蒸发料
-
GB/T 33913.1-2017
三苯基膦氯化铑化学分析方法 第1部分：铑量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
-
GB/T 13747.5-2019
锆及锆合金化学分析方法 第5部分：铝量的测定 铬天青S-氯化十四烷基吡啶分光光度法
-
GB/T 23590-2009
氟化镨钕
-
GB/T 23520-2022
阴极保护用铂复合阳极板
-
GB/T 3260.6-2000
锡化学分析方法 砷量的测定
-
GB/T 4103.7-2000
铅及铅合金化学分析方法 硒量的测定
-
GB/T 4103.6-2000
铅及铅合金化学分析方法 砷量的测定
-
YS/T 540.4-2018
钒化学分析方法 第4部分：铁量的测定 1,10-二氮杂菲分光光度法
-
XB/T 229-2018
铈镨氧化物
-
GB/T 4324.8-2008
钨化学分析方法 镍量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法、火焰原子吸收光谱法和丁二酮肟重量法
打开设置，点击
执行注册
