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GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则
General rules for measurement of length in micron scale by SEM
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
有关分析化学的其他标准（71.040.99）
】
-
CCS分类：
【
仪器、仪表（N）
物质成份分析仪器与环境监测仪器（N50/59）
电化学、热化学、光学式分析仪器（N53）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准代替GB/T16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。
本标准与GB/T16594-1996相比主要变化如下:
---将测量方法改为测量方法通则;
---将误差分析改为不确定度评定;
---增加样品变形产生的不确定度评定;
---改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值;
---增加被测长度方向的调整附录。
本标准的附录A 为规范性附录,附录B~附录D 为资料性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。
本标准主要起草单位:上海元宝能源技术有限公司、上海理工大学、上海市计量测试技术研究院、同济大学、中国船舶重工集团公司第725研究所。
本标准主要起草人:张训彪、卢德生、邓保庆、丁臻敏、刘悦、高文华、徐国照。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T16594-1996。
-
适用范围：
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的通用原则。适用于测量(0.5～10)μm的长度。
-
引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJG550-1988 扫描电子显微镜国家计量检定规程
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
BIPMIECIFCCISOIUPACIUPAP OIML-1993 测量不确定度表示指南(GuidetotheExpressionofUncertaintyin Measurement)
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