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GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 22572-2008
  • 名称：
    表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2008-12-11
  • 实施日期：
    2009-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化学分析———二次离子质谱———用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》。
    为便于使用，本标准对ＩＳＯ２０３４１：２００３做了下列编辑性修改：
    ———删除了原国际标准的前言部分；
    ———将本国际标准改为本标准。
    本标准的附录Ａ 为规范性附录。
    本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
    本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。
    本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。
  • 适用范围：
    本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
    由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
  • 引用标准：
    下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
    ＧＢ／Ｔ２２４６１　表面化学分析　词汇（ＧＢ／Ｔ２２４６１—２００８，ＩＳＯ１８１１５：２００１，ＩＤＴ）
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 22461
  • 采用标准：
    ISO 20341:2003 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 提出部门：
    全国微束分析标准化技术委员会
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会
  • 起草单位：
    信息产业部专用材料质量监督检验中心
相关人员
暂无
关联标准