GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
分类信息
ICS分类：
【
化工技术（71）
分析化学（71.040）
化学分析（71.040.40）
】
CCS分类：
【
化工（G）
化工综合（G00/09）
基础标准与通用方法（G04）
】
行标分类：
暂无
前言：
本标准等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化学分析———二次离子质谱———用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》。
适用范围：
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
主管部门：
国家标准化管理委员会
提出部门：
全国微束分析标准化技术委员会
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：
信息产业部专用材料质量监督检验中心
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