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GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
基本信息
-
标准号：
GB/T 24468-2009
-
名称：
半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
-
英文名称：
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
-
状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2009-10-15
-
实施日期：
2009-12-01
-
废止日期：
暂无
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长度和角度测量（17.040）
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】
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CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
电子测量与仪器（L85/89）
电子测量与仪器综合（L85）
】
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