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GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 24468-2009
  • 名称：
    半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
  • 英文名称：
    Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2009-10-15
  • 实施日期：
    2009-12-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    2.1　本标准定义了设备的六个基本状态，所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上，而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    SEMI E35 SEMI E58 SEMI E79 SEMI E116
  • 采用标准：
    SEMI E10-0304:2004 设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范 （修改采用 MOD）
相关部门
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究所
  • 归口单位：
    全国半导体材料和设备标准化技术委员会 469-203
相关人员
暂无
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