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GB/T 23611-2009 金靶材
Gold target
基本信息
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标准号：
GB/T 23611-2009
-
名称：
金靶材
-
英文名称：
Gold target
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状态：
现行
-
类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2009-04-15
-
实施日期：
2010-02-01
-
废止日期：
暂无
-
相关公告：
实施公告【】
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分类信息
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ICS分类：
【
冶金（77）
有色金属（77.120）
其他有色金属及其合金（77.120.99）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
有色金属及其合金产品（H60/69）
贵金属及其合金（H68）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准由北京达博有色金属焊料有限责任公司参与起草。
本标准主要起草人：闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民。
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适用范围：
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材（以下简称金靶材）。
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引用标准：
ＧＢ／Ｔ４１３４ 金锭
ＧＢ／Ｔ１１０６６．５ 金化学分析方法 银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定 原子发射光谱法
ＧＢ／Ｔ１５０７７ 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
相关标准
相关部门
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提出部门：
中国有色金属工业协会
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主管部门：
中国有色金属工业协会
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归口单位：
全国有色金属标准化技术委员会
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起草单位：
有研亿金新材料股份有限公司等
相关人员
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