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GB/T 23611-2009 金靶材
Gold target
基本信息
-
标准号:
GB/T 23611-2009
-
名称:
金靶材
-
英文名称:
Gold target
-
状态:
现行
-
类型:
国家标准
-
性质:
推荐性
-
发布日期:
2009-04-15
-
实施日期:
2010-02-01
-
废止日期:
暂无
-
相关公告:
实施公告【】
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分类信息
-
ICS分类:
【
冶金(77)
有色金属(77.120)
其他有色金属及其合金(77.120.99)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
有色金属及其合金产品(H60/69)
贵金属及其合金(H68)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
-
前言:
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准由北京达博有色金属焊料有限责任公司参与起草。
本标准主要起草人:闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民。
-
适用范围:
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
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引用标准:
GB/T4134 金锭
GB/T11066.5 金化学分析方法 银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定 原子发射光谱法
GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
相关标准
相关部门
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提出部门:
中国有色金属工业协会
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主管部门:
中国有色金属工业协会
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归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会
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起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司等
相关人员
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