GB/T 16942-2009

电子工业用气体 氢

Hydrogen for electronic industry

现行

国家标准

推荐性

2009-10-30

2010-05-01

暂无

实施公告【】

暂无

本标准代替GB/T16942-1997《电子工业用气体 氢》。
本标准与GB/T16942-1997相比主要变化如下:
---修改电子工业用氢的适用范围(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T16942-1997 的第3章,本版的第3章);
---修改电子工业用氢抽样规则(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2);
---修改电子工业用氢采样要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的4.1.3);
---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3);
---修改总烃分析方法的检测限(16942-1997的4.7,本版的4.5);
---修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章);
---增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氢中的氮、一氧化碳、二氧
化碳组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T16942-1997。

本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190-2009 危险货物包装标志
GB/T3634.1 氢气 第1部分 工业氢
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB4962 氢气使用安全技术规程
GB5099 钢质无缝气瓶(GB5099-1994,neqISO4705:1993)
GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法
GB7144 气瓶颜色标志
GB/T8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB14194 永久气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定

GB/T 16942-1997

GB 190-2009 GB/T 3634.1 GB/T 3723 GB 4962 GB 5099 GB/T 6285 GB 7144 GB/T 8984 GB 14194 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定

中国计量科学研究院 西南化工研究设计院

国家标准化管理委员会

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会