GB/T 14601-2009

电子工业用气体 氨

Gas for electronic industry - Ammonia

现行

国家标准

推荐性

2009-10-30

2010-05-01

暂无

实施公告【】

暂无

本标准代替GB/T14601-1993《电子工业用气体 氨》。
本标准与GB/T14601-1993相比主要变化如下:
---修改标准的名称;
---修改适用范围(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);
---增加对氨尾气处理的要求(见4.3);
---删去按GB5831规定的方法测定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);
---修改氧、氮、一氧化碳含量的测定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);
---增加氢、氩含量的测定(见4.4);
---增加二氧化碳含量的测定(见4.4);
---修改烃含量的测定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);
---修改水含量的测定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);
---增加金属离子的测定方法(见4.6);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---增加规范性附录A,并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、
二氧化碳和烃(C1~C3)含量组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位:大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T14601-1993。

本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式：NH3。
相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190-2009 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB7144 气瓶颜色标志
GB14193 液化气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程

GB/T 14601-1993

GB 190-2009 GB/T 3723 GB 7144 GB 14193 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

西南化工研究设计院 大连光明化工研究院 中国西南油气田成都天然气化工总厂 武汉市鼎立化工有限责任公司

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会