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GB/T 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮
Gas for electronic industry - Nitrous oxide
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准代替GB/T14600-1993《电子工业用气体 氧化亚氮》。
本标准与GB/T14600-1993相比主要变化如下:
---修改电子工业用氧化亚氮的适用范围(GB/T14600-1993的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T14600-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T14600-1993的第3章,本版的第3章);
---增加电子工业用氧化亚氮采样安全要求(见4.1.2);
---增加尾气处理的要求(见4.3);
---修改一氧化碳、二氧化碳、烃C1~C5、氮、氧含量检验方法的检测限和标准样品的规定(GB/T14600-1993的4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.5、4.6、4.7、4.8);
---修改水分含量的检验方法(GB/T14600-1993的4.7,本版的4.11);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14600-1993的第6章、第7章,本版的第5章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院。
本标准主要起草人:周泽义、孙福楠、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T14600-1993。
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适用范围：
本标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
分子式：N2O。
相对分子质量：44.012 8（按2005年国际相对原子质量计算）。
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引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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