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GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 24582-2009
  • 名称：
    酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
  • 英文名称：
    Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2009-10-30
  • 实施日期：
    2010-06-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
    本标准负责起草单位:新光硅业科技责任有限公司。
    本标准主要起草人:王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    ISO 14644-1 SEMI C28 SEMI C30 SEMI C35 ASTM D5127
相关部门
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 起草单位：
    新光硅业科技责任有限公司
相关人员
暂无
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