• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 24582-2009
  • 名称：
    酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
  • 英文名称：
    Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2009-10-30
  • 实施日期：
    2010-06-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 半金属与半导体材料综合（H80） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
    本标准负责起草单位:新光硅业科技责任有限公司。
    本标准主要起草人:王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。
  • 适用范围：
    暂无
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    ISO 14644-1 SEMI C28 SEMI C30 SEMI C35 ASTM D5127
相关部门
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 起草单位：
    新光硅业科技责任有限公司
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 12963-1996 硅多晶
  • YS/T 1160-2016 工业硅粉定量相分析 二氧化硅含量的测定 X射线衍射K值法
  • GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
  • GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
  • GB/T 8750-1997 半导体器件键合金丝
  • GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
  • YS/T 724-2009 硅粉
  • GB/T 29850-2013 光伏电池用硅材料补偿度测量方法
  • GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
  • GB/T 31475-2015 电子装联高质量内部互连用焊锡膏
  • YS 68-2004 砷
  • GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
  • SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法
  • GB/T 25076-2018 太阳能电池用硅单晶
  • GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
  • GB/T 2881-2008 工业硅
  • GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
  • GB/T 11070-2006 还原锗锭
  • GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
  • SJ 20866-2003 交叉辗压钼铼合金片规范
用户分享资源

GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属...

Test method for measuring surface metal ... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com