收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 24577-2009
  • 名称:
    热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
  • 英文名称:
    Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2009-10-30
  • 实施日期:
    2010-06-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类:
    电气工程(29) 半导体材料(29.045)
  • CCS分类:
    冶金(H) 半金属与半导体材料(H80/84) 半金属与半导体材料综合(H80)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    本标准修改采用SEMIMF19821103《热解吸附气相色谱法评估硅片表面有机污染物的方法》。
    本标准对SEMIMF19821103格式进行了相应调整。为了方便比较,在资料性附录B中列出了本标准章条和SEMIMF19821103章条对照一览表。并对SEMIMF19821103条款的修改处用垂直单线标识在它们所涉及的条款的页边空白处。
    本标准与SEMIMF13890704相比,主要技术差异如下:
    ---去掉了目的、关键词;
    ---将实际测试得到的单一试验室的精密度结果代替原标准中的精度和偏差部分,并将原标准中
    的精度和偏差部分作为资料性附录A。
    本标准的附录A、附录B为资料性附录。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
    本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。
    本标准起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
    本标准主要起草人:王奕、褚连青、李静。
  • 适用范围:
    1.1 本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。1.2 本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    ASTM D6196
  • 采用标准:
    SEMI MF1982-1103 热解吸附气相色谱法评估硅片表面有机污染物的方法 (修改采用 MOD)
相关部门
  • 起草单位:
    中国电子科技集团公司第四十六研究所 信息产业部专用材料质量监督检验中心
  • 主管部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
  • 提出部门:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 12965-1996 硅单晶切割片和研磨片
  • GB/T 29054-2019 太阳能电池用铸造多晶硅块
  • YS/T 1167-2016 硅单晶腐蚀片
  • GB/T 20229-2022 磷化镓单晶
  • GB/T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
  • YS/T 651-2007 二氧化硒
  • GB/T 12962-1996 硅单晶
  • GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
  • GB/T 19199-2003 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
  • GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
  • SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
  • GB/T 24576-2009 高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
  • GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
  • GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环
  • GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
  • YS/T 985-2014 硅抛光回收片
  • GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
  • GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
  • GB/T 31475-2015 电子装联高质量内部互连用焊锡膏
  • SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
用户分享资源

GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

Test methods for analyzing organic conta...
上传文件
注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容,请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况,为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要,对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等,而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中,联系客服入驻

客服QQ: 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话:0379-80883238

电子邮箱:ocsyun@126.com