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JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

Vacuum sputtering coating plant
基本信息
  • 标准号：
    JB/T 8945-2010
  • 名称：
    真空溅射镀膜设备
  • 英文名称：
    Vacuum sputtering coating plant
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    行业标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2010-02-21
  • 实施日期：
    2010-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2010年第5号(总第125号)】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 流体系统和通用件（23） 真空技术（23.160） 】
  • CCS分类：
    【 机械（J） 通用机械与设备（J70/89） 真空技术与设备（J78） 】
  • 行标分类：
    【 机械（JB） 】
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
    本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 起草单位：
    沈阳真空技术研究所 成都南光机器有限公司 广东中环真空设备有限公司 大连远东真空技术有限公司
相关人员
暂无
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