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JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

Vacuum sputtering coating plant
基本信息
  • 标准号:
    JB/T 8945-2010
  • 名称:
    真空溅射镀膜设备
  • 英文名称:
    Vacuum sputtering coating plant
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    行业标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2010-02-21
  • 实施日期:
    2010-07-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【2010年第5号(总第125号)】
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分类信息
  • ICS分类:
    流体系统和通用件(23) 真空技术(23.160)
  • CCS分类:
    机械(J) 通用机械与设备(J70/89) 真空技术与设备(J78)
  • 行标分类:
    机械(JB)
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
    本标准适用于压力在1×10-1Pa~1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
暂无
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  • 起草单位:
    沈阳真空技术研究所 成都南光机器有限公司 广东中环真空设备有限公司 大连远东真空技术有限公司
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暂无
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