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GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

Gases for electronic industry - Arsine
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
    本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。
    分子式：AsH3。
    相对分子质量：77.945 42（按2007年国际相对原子质量计算）
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB/T 5832.1 GB 7144 GB/T 8984 GB/T 11640 GB 14193 GB/T 26571 《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布 2000年)
相关部门
  • 归口单位：
    1) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
  • 主管部门：
    1) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
  • 起草单位：
    上海华爱色谱分析技术有限公司 光明化工研究设计院 西南化工研究设计院
相关人员
暂无
关联标准