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GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
Gases for electronic industry - Arsine
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
归口单位：
1)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
-
主管部门：
1)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
-
起草单位：
上海华爱色谱分析技术有限公司
光明化工研究设计院
西南化工研究设计院
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