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GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
Gases for electronic industry - Hydrogen selenide
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
-
前言：
本标准的附录Ａ 和附录Ｂ为规范性附录。附录Ｃ 为资料性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司。
本标准主要起草人:周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵。
-
适用范围：
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：H2Se。
相对分子质量：80.975 88（按2007年国际相对原子质量计算）。
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引用标准：
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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GB/T11640 铝合金无缝气瓶
GB14193 液化气体气瓶充装规定
GB/T26571 特种气体储存期规范
《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布,2000年)
相关标准
相关部门
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归口单位：
1)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
-
主管部门：
1)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
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起草单位：
中国计量科学研究院
上海华爱色谱分析技术有限公司
西南化工研究设计院
河北保定市北方特种气体有限公司
相关人员
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