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GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼

Gases for electronic industry - Boron trichloride
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
    本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
    分子式：BCl3。
    相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 17874-1999
  • 引用标准：
    GB 190 GB/T 3723 GB 5099 GB 7144 GB/T 8984 GB 14193 GB/T 26571 《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布 2000年)
相关部门
  • 归口单位：
    1) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
  • 主管部门：
    1) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC
  • 起草单位：
    上海华爱色谱分析技术有限公司 光明化工研究设计院 西南化工研究设计院
相关人员
暂无
关联标准