GB/T 25184-2010

X射线光电子能谱仪检定方法

Verification method for X-ray photoelectron spectrometers

2010-09-26

2011-08-01

暂无

实施公告【】

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会表面分析分委员会归口。
本标准负责起草单位:福建光电有限公司、厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室。
本标准主要起草人:王水菊、时海燕、丁训民。

本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线，且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。

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GB/T19500—2004 X射线光电子能谱分析方法通则
GB/T21006—2007 表面化学分析 X 射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性(ISO21270:2004,IDT)
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
GB/T20175—2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法(ISO14606:2000,IDT)
GB/T22571—2008 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准(ISO15472:2001,IDT)
GB/T25185—2010 表面化学分析 X 射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告
(ISO19318:2004,IDT)
ISO15470:1999 表面化学分析 X 射线光电子能谱仪 所选仪器性能参数表述(SurfaceChemical Analysis—X-ray photoelectron spectrometers—Description of selected instrumentalperformanceparameters)
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ISO18118:2004 表面化学分析 AES和XPS 均相材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子的使用指南(Surfacechemicalanalysis—Augerelectron spectroscopy and X-ray photoelectron
spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivityfactorsforthequantitativeanalysisofhomogeneousmaterials)
ISO18516:2006 表面化学分析 AES和XPS 横向分辨率的测定(Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution)
ISO19319 表面化学分析 AES和XPS 横向分辨率、分析面积和分析器分析面积的测定(Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopyand X-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution,analysisarea,andsampleareaviewedbytheanalyzer)
ISO24237 表面化学分析 XPS 强度标的重复性和一致性(Surfacechemicalanalysis—X-ray
photoelectronspectroscopy—Repeatabilityandconstancyofintensityscale)

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厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室 福建光电有限公司