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GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法
Verification method for X-ray photoelectron spectrometers
基本信息
分类信息
ICS分类:
【
化工技术(71)
分析化学(71.040)
化学分析(71.040.40)
】
CCS分类:
【
化工(G)
化工综合(G00/09)
基础标准与通用方法(G04)
】
行标分类:
暂无
描述信息
前言:
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会表面分析分委员会归口。 本标准负责起草单位:福建光电有限公司、厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室。 本标准主要起草人:王水菊、时海燕、丁训民。
适用范围:
本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线,且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。
引用标准:
下列文件对于本文件的应用是必不可少的,凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用本文件。 GB/T19500—2004 X射线光电子能谱分析方法通则 GB/T21006—2007 表面化学分析 X 射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性(ISO21270:2004,IDT) GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT) GB/T20175—2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法(ISO14606:2000,IDT) GB/T22571—2008 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准(ISO15472:2001,IDT) GB/T25185—2010 表面化学分析 X 射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告 (ISO19318:2004,IDT) ISO15470:1999 表面化学分析 X 射线光电子能谱仪 所选仪器性能参数表述(SurfaceChemical Analysis—X-ray photoelectron spectrometers—Description of selected instrumentalperformanceparameters) ISO18116 表面化学分析 样品制备和安装程序标准指南(Surfacechemicalanalysis—Guidelinesforpreparationandmountingofspecimensforanalysis) ISO18118:2004 表面化学分析 AES和XPS 均相材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子的使用指南(Surfacechemicalanalysis—Augerelectron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivityfactorsforthequantitativeanalysisofhomogeneousmaterials) ISO18516:2006 表面化学分析 AES和XPS 横向分辨率的测定(Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution) ISO19319 表面化学分析 AES和XPS 横向分辨率、分析面积和分析器分析面积的测定(Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopyand X-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution,analysisarea,andsampleareaviewedbytheanalyzer) ISO24237 表面化学分析 XPS 强度标的重复性和一致性(Surfacechemicalanalysis—X-ray photoelectronspectroscopy—Repeatabilityandconstancyofintensityscale)
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