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GB/T 26113-2010e 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则
Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
电子学（31）
集成电路、微电子学（31.200）
】
-
CCS分类：
【
电子元器件与信息技术（L）
微电路（L55/59）
微电路综合（L55）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
发布部门：
China
of
of
of
of
Standardization
Administration
Administration
And
And
the
the
Republic
General
Quality
Supervision,Inspection
Quarantine
Pe
People's
-
提出部门：
SAC/TC
National
Committee
of
Standardization
the
System
Technology
336
Micro-electromechanical
-
归口单位：
SAC/TC
National
Committee
of
Standardization
the
System
Technology
336
Micro-electromechanical
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