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GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 26113-2010
  • 名称：
    微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
  • 英文名称：
    Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2011-01-10
  • 实施日期：
    2011-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《紧固件 质量保证体系》等410项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
    本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
    本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。
    本标准主要起草人:丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥。
  • 适用范围：
    本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
    本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
  • 引用标准：
    下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
    GB/T3505 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法术语、定义及表面结构参数
    GB/T18779.2 产品几何量技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分:测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南
    GB/T26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 3505 GB/T 18779.2 GB/T 26111
相关部门
  • 起草单位：
    西安交通大学 中机生产力促进中心 天津大学 中原工学院
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
  • 主管部门：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
关联标准